導語：在當前國外有關技術封鎖及國內區域競爭加劇的背景下，張賓帶領團隊在微機電系統（MEMS）半導體智能傳感器領域攻克關鍵核心技術，突破技術壁壘，補足短板，優化產品設計、完善檢驗檢測，建立以質量為基礎的品牌發展戰略，加快市場化推廣應用，用科技服務民生、推動經濟社會高質量發展，為實現“2025年中國芯片自給率達到70%”的目標作貢獻。

張賓，2003年9月創辦廣州奧松電子有限公司（現更名為廣州奧松電子股份有限公司，以下簡稱“奧松電子”），擔任董事長和首席技術專家，是廣州市第十六屆人民代表大會代表、廣東省工業和信息化廳廣東民營企業家智庫成員、奧松電子科學技術協會主席、華南理工大學設計學院工程碩士研究生校外指導教師。一直從事MEMS智能傳感器研發，先后主持國家、地方和企業研發項目120余項，擁有自主知識產權超150件，參與起草國家標準3項，主導建設發展國內領先的MEMS半導體智能傳感器全產業鏈（MEMS IDM）模式產業集群。先后被評為廣州市黃埔區、廣州開發區“創業領軍人才”“創業杰出人才”“創業英才”“優秀人才”和廣東“最美科技工作者”。

奧松電子董事長張賓，圖片由受訪者提供

堅守初心  搭建全新智能化生產線

我國傳感器產業起步晚，發展緩慢，傳感器技術與世界水平相比存在很大差距，各類傳感器芯片幾乎完全從國外進口，價格昂貴，國內缺乏對新原理、新器件和新材料傳感器的研發和產業化能力。國內傳感器研發的慘淡現狀將張賓“逼”上創業之路。

2003年，張賓負責研發的濕度傳感器項目成功實現量產，濕度傳感器成為他同年成立的奧松電子的第一款產品。乘中國加入世界貿易組織的春風，訂單紛至沓來，產品暢銷海內外各地。

然而，2010年，張賓決定投入以往所有的收益，搭建MEMS半導體智能傳感器芯片生產線。國內這一領域一片空白，單個車間內上百臺設備的功能、兼容性都需要一一摸索。這一重資產、高投入、長時間、又成敗難料的事情，遭到部分股東的反對，一些研發人員也想退出。

面臨資金緊張、人員流失嚴重的困境，張賓毫不退縮，他堅定地說，“當與利益無關，卻還一如既往、持之以恒地追求下去，這就叫熱愛。”

這份熱愛有跡可循。“我是一個技術愛好者，從小就對各種機械、電子產品有著濃厚的興趣。報考專業時，選擇了向往已久的電子技術專業。”工作后張賓在傳感器技術領域不斷地研發探索，多年的專業知識積累以及刻苦鉆研，讓他對傳感器技術有著自己深入的思考。

張賓在做實驗，圖片由受訪者提供

2010年，張賓注意到國外傳感器制造技術全面升級，在前往國外交流學習時，他在納米加工平臺看到多種不同高端設備如刻蝕機、光刻機等在傳感器上的應用，深受震撼！奧松電子當時采用的還是傳統的陶瓷電路做傳感器基板，產品在體積、性能、價格等方面都處于劣勢。張賓意識到，在半導體行業，傳統的機械加工技術已經走到了盡頭，利用微電子和微機械加工技術制造出來的新型傳感器才是將來的發展趨勢。

從此，張賓踏上了搭建MEMS半導體智能傳感器芯片生產線的漫漫征程。耗費6年時間，投入大量的資金，他始終抱著“咬定青山不放松”的信念，堅守初心，帶領團隊反復調試設備，對設備的功能、結構一一研究并進行改裝。路雖遠行則將至，事雖難做則必成。2016年，在經歷無數次失敗過后，奧松電子建成了屬于自己的MEMS半導體芯片生產線。

奧松電子科學技術協會成立的大會暨揭牌儀式，圖片由受訪者提供

勇于創新  突破多項“卡脖子”技術

習近平總書記在黨的二十大報告中提到，要堅持創新在我國現代化建設全局中的核心地位，健全新型舉國體制，強化國家戰略科技力量，提升國家創新體系整體效能，形成具有全球競爭力的開放創新生態。國家富強和民族復興離不開科技創新，在創新強國的征程中，正是因為科研一線工作者們不斷探索，精益求精，把科技的命脈牢牢掌握在手中，從而實現科技自立自強。

多年來，張賓作為奧松電子技術帶頭人，帶領團隊在科技創新強國路上越走越遠，未曾有因取得成績而停止進取的步伐。奧松電子不斷取得新突破，其中不乏亮眼的成就：2016年，成功打造國內領先MEMS半導體傳感器集成電路全產業鏈；2020年，粵港澳大灣區首條6吋MEMS半導體智能傳感器產線成功投產；2022年，又啟動了8吋特色芯片生產線的建設，該項目建成后，將使粵港澳大灣區成為國內規模化的MEMS芯片及智能傳感器產業集群。

2019年，張賓帶領研發團隊自主創新研發的MEMS半導體絕對濕度傳感器打破了日本對全球市場的壟斷。該產品以最新的MEMS傳感器制造工藝突破傳統玻璃封裝，一方面從響應速度、集成度等方面優化了微波爐、烤箱等家電新產品，實現數字接口輸出，實現MEMS絕對濕度傳感器產業化；另一方面打破了技術壟斷，實現絕對濕度傳感器國產化，為國內家電行業貢獻優質蒸汽濕度解決方案。

2021年，張賓主持“新一代冷鏡式精密露點儀的研發和產業化”項目，部分性能參數趕超國外進口產品，解決了我國智能傳感器關鍵技術“卡脖子”問題，實現了國產化替代，保障國家關鍵零部件供應鏈安全。

項目實施期間，張賓帶領研發團隊自主創新，首創借助半導體工藝采取硅片鍍鉑作為冷凝結露鏡面，制冷溫差提高，冷鏡體積減小，反應速度得到極大提高。這項工藝現已取得中國計量科學研究院校準和檢定證書，可廣泛應用于計量檢測、高校科研、氣象環境、電子電力、醫藥等行業。該項目獲得了“2021年度粵港澳大灣區高價值專利培育布局大賽50強”和“2021年度廣東省測量控制與儀器儀表科學技術獎三等獎”。

廣州市黃埔區廣州開發區杰出人才（創業）頒獎現場（右5為張賓）

抗擊疫情  緊急攻關實現呼吸機專用傳感器國產化替代

2020年伊始，突如其來的新冠肺炎疫情使世界各國自危，美國、日本、德國等國家采取了嚴格的技術封鎖，限制多項傳感器相關技術出口。而我國國產呼吸機、麻醉機的關鍵傳感器長期全部依賴進口，疫情來勢洶洶，國內核心關鍵傳感器卻短缺，嚴重限制了呼吸機、麻醉機的產能。

面對嚴峻形勢，張賓扛起科研工作者、企業家的社會責任和擔當，集公司之力回應國內某知名呼吸機生產廠家的求助。張賓緊急召開產品技術研討會，成立醫用傳感器攻關團隊，分別設立芯片制造工藝開發小組、結構設計和模具開發小組以及系統控制集成小組，在復工復產極為艱難的情況下，張賓調配所有資源攻克技術難題，日以繼夜全力奮戰。張賓與員工在公司同吃住、共研發，親自參與結構設計、芯片可靠性測試、傳感器標定等工作。經過無數次實驗與測試、無數次技術方案調整、無數次技術迭代，在極短時間內，他將科研骨干的才智凝聚于樣品，并送檢合格。

供應鏈、工裝夾具、生產線排產工作......歷經一個多月連續接力的量產攻關，奧松電子率先成為國內唯一一家同時具備生產新一代呼吸機專用流量、差壓、氧氣等抗疫相關傳感器能力的企業。奧松電子將自身技術積累轉化為研發產品，為呼吸機、麻醉機和口罩機等抗疫一線裝備提供關鍵傳感器，為抗擊疫情貢獻了重要力量。

這一科技成果解決了國內呼吸機、麻醉機中缺少關鍵零部件的難題，打破了一直以來呼吸機專用傳感器被外國科技巨頭壟斷的局面，實現了國產化替代，為人民的生命安全提供了強大的保障。

張賓始終把家國情懷融入其在智能傳感器產業的奮斗之中，在中國科技事業的征程中，帶領團隊打破一項項國外科技巨頭壟斷；在突發疫情面前，帶領團隊以科研產品保障人民生命安全。對一個優秀科技工作者的詮釋，不僅是對科研的熱愛與創新，還要擁有勇于承擔社會責任的品格。在當前國外有關技術封鎖及國內區域競爭加劇的背景下，張賓帶領團隊全心全意投入，以攻克關鍵核心技術、突破技術壁壘的努力，用科技服務民生。

（作者：李婉欣 原文刊載于《廣東科技》2022年第12期）