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領邦儀器:太陽能硅片自動分檢系統解決方案


  來源： 儀器儀表商情網 時間：2015-07-29 作者：
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【基本原理】
      系統整體采用非接觸測量方式，通過在流水線中設置五個工位，分別實現硅片各個參數的檢測。其中，電阻率、厚度、TTV、P/N型號、Bow/Warp采用電渦流法和電容法實現非接觸自動檢測；輪廓尺寸采用機器視覺技術實現；隱裂、孔洞缺陷通過紅外視覺技術實現；表面臟污缺陷通過機器視覺技術并輔以特殊設計光源實現；線痕缺陷通過光針掃描技術實現。

  【規格指標】
       （1）能夠適應三種規格單晶硅片檢測需求，包括6吋（邊長125mm×125mm，對角線150mm）、6.5吋（邊長125mm×125mm，對角線165mm）、8吋（邊長156mm×156mm，對角線200mm）；

       (2）能夠檢測硅片各種缺陷，包括電阻率、厚度、TTV、P/N、線痕、幾何尺寸、臟污、孔洞、隱裂、BOW/WARP；

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