(3）檢測效率：3000片/小時；
（4）進料機構(gòu)采用物料籃（花籃）自動進料，物料籃必須與設備配套使用，人工將物料籃安裝到設備進料口，安裝過程應簡單快捷；
（5）合格標準可設定，以適應區(qū)分不同的質(zhì)量級別；
（6）具備硅片分選功能。一個分選模塊有6個分選工位，各工位的分選標準可以自定義，既可以將每個分選工位設置成一種缺陷的幾個等級（等級劃分由客戶自定義，但不可超過6級），也可以將每個分選工位設置成幾種不同的缺陷（最多設置6種缺陷）。客戶可設置缺陷種類的優(yōu)先級，若硅片上具有兩種或多種缺陷時按照客戶定義的優(yōu)先級進行分選；如果認為6個分選工位不能滿足使用要求，則可以購買多臺分選模塊；
（7）上、下料及檢測過程中防止硅片碰傷與損壞，碎片率要求<0.1%；可以進行數(shù)據(jù)存儲、統(tǒng)計、分析、查詢及圖表繪制等。配備網(wǎng)絡接口，可以進行測量設備現(xiàn)場聯(lián)網(wǎng)統(tǒng)一控制管理。測量結(jié)果能夠打印輸出；
（8）設備具備安全防護功能，實現(xiàn)自動保護。配備急停裝置，發(fā)生緊急情況時可立即停止設備，防止意外傷害；
（9）采用模塊化設計，便于維護和維修。
（4）進料機構(gòu)采用物料籃（花籃）自動進料，物料籃必須與設備配套使用，人工將物料籃安裝到設備進料口，安裝過程應簡單快捷；
（5）合格標準可設定，以適應區(qū)分不同的質(zhì)量級別；
（6）具備硅片分選功能。一個分選模塊有6個分選工位，各工位的分選標準可以自定義，既可以將每個分選工位設置成一種缺陷的幾個等級（等級劃分由客戶自定義，但不可超過6級），也可以將每個分選工位設置成幾種不同的缺陷（最多設置6種缺陷）。客戶可設置缺陷種類的優(yōu)先級，若硅片上具有兩種或多種缺陷時按照客戶定義的優(yōu)先級進行分選；如果認為6個分選工位不能滿足使用要求，則可以購買多臺分選模塊；
（7）上、下料及檢測過程中防止硅片碰傷與損壞，碎片率要求<0.1%；可以進行數(shù)據(jù)存儲、統(tǒng)計、分析、查詢及圖表繪制等。配備網(wǎng)絡接口，可以進行測量設備現(xiàn)場聯(lián)網(wǎng)統(tǒng)一控制管理。測量結(jié)果能夠打印輸出；
（8）設備具備安全防護功能，實現(xiàn)自動保護。配備急停裝置，發(fā)生緊急情況時可立即停止設備，防止意外傷害；
（9）采用模塊化設計，便于維護和維修。
【解決方案價值對照表】
【應用擴展】
此解決方案經(jīng)適量修改，也可適用于太陽能電池板、多晶硅、單晶硅檢測等。
