源測量單元（Source Measure Unit，簡稱SMU），顧名思義就是可編程電源和測量儀表的結合體，既可以有電源輸出，又可以進行測量。隨著應用領域對供給電源和測量同步性要求的不斷提高，SMU在生物化學、超導材料、光電器件測試、半導體研究等領域起到了越來越大的作用。尤其是高性能的源表，可以更全面地檢測器件特性，提升整個測試系統的效率，從而提高設計和生產效率。
GS820工作時序圖
精度
精度是根本，高精度SMU的輸出和測量精度指標通常是有很多限制條件的，比如溫度范圍、保證時限等。保證精度的溫度范圍越寬，保證時限越長，實際測試過程中的精度才越有保障。
橫河GS200系列SMU的最高精度可達讀數的0.001%；
在23±5℃的溫度范圍時，一年的保證精度也可以達到讀數的±0.016%；
在23±5℃溫度范圍以外時，溫度系數高達±0.0008%/℃。
穩定性
穩定性是指SMU在進行長時間連續測量時，精度的變化情況。影響穩定性的因素有很多，如源表元器件的質量、零部件的磨損老化、以及使用或貯存不當等。另外，SMU的實際應用場景通常會連續測量較長時間，比如在生產線上使用時，需要連續測量24小時以上。長時間的輸出和測量，會在SMU的機箱內產生并積累熱量，如果散熱處理不當也會對輸出和測量的精度帶來較大的影響。
GS200輸出穩定性與其他公司產品對比
響應速度
當SMU的輸出通過掃描或編程頻繁進行切換時，輸出的響應速度就變得尤為重要。
掃描輸出例
快速的響應才能保證輸出對時間的準確性，迅速而準確地達到輸出值，而良好的震蕩抑制能夠確保電壓、電流輸出的穩定，避免對被測對象產生不必要的沖擊。
半導體激光芯片檢測實例
半導體激光器芯片檢測，需要SMU輸出電流驅動發光二極管，并測量光電傳感器的輸出電壓，同時使用光譜分析儀對發光二極管的發光波長和光譜特性進行檢測。
由于光電傳感器產生的電壓很小，需要源表具有很高的分解能力和測量精度。
同時為了避免發光二極管過熱，提高檢測速度，驅動電流需要以窄脈沖掃描的形式進行輸出，這就對SMU的響應和測量速度提出了很高要求。這樣的檢測工作在生產線上可能需要連續24小時進行，SMU的穩定性也至關重要。
脈沖掃描曲線
半導體激光器芯片檢測示例
- 基本精度：最高可達±0.016%
- 溫度系數：最高可達±0.0008%/℃
- 100μs周期輸出100,000點任意波形
- 內置USB大容量存儲設備
- 高速的命令響應能力
