隨著5G的不斷部署，基站，小型蜂窩，手機(jī)和工業(yè)設(shè)備將需要符合標(biāo)準(zhǔn)的IC設(shè)備。而這些部件納入供應(yīng)鏈，意味著IC制造商需要針對(duì)與5G芯片的自動(dòng)化測(cè)試系統(tǒng)。自動(dòng)化測(cè)試系統(tǒng)（ATE）將需要對(duì)在28 GHz和39 GHz以及6 GHz以下頻段運(yùn)行的無(wú)線電，波束形成器，放大器和其他部件進(jìn)行測(cè)試；這就要求ATE中需要包含向量網(wǎng)絡(luò)分析儀（VNA）和數(shù)字I / O等設(shè)備。在5G測(cè)試設(shè)備中，我們注意到越來(lái)越多的ATE公司正在進(jìn)入5G大市場(chǎng)中。Marvin Test Solutions與Rohde＆Schwarz合作開(kāi)發(fā)5G IC的ATE系統(tǒng)，也將參與這場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)之中。

圖1：TS-960e-5G外觀圖

1、 硬件部分

TS-960e-5G mmWave測(cè)試系統(tǒng)可提供高達(dá)50 GHz的測(cè)試性能。該系統(tǒng)將實(shí)驗(yàn)室級(jí)RF性能直接集成到mmWave被測(cè)設(shè)備（DUT）中，用于mmWave設(shè)備的多網(wǎng)站生產(chǎn)測(cè)試或設(shè)備表征。此外，MTS還提供全套數(shù)字和參數(shù)測(cè)試以及SPI / I2C接口支持，以便在功能上控制/監(jiān)控被測(cè)設(shè)備。

主要組件（如圖2所示）：

 Rohde & Schwarz ZNBT40 24通道，40 GHz VNA
 Marvin Test GX7205 PXI機(jī)箱，為每個(gè)DUT提供一個(gè)專用32通道，100/125 MHz DIO卡，以及一個(gè)GX3104源測(cè)量單元（SMU）
 Rohde & Schwarz OSP320，增加了4個(gè)1×6開(kāi)關(guān)，用于互調(diào)測(cè)試
 Marvin測(cè)試頭具有產(chǎn)品接口，包括Seiko Epson 8040 Quad Site封裝設(shè)備處理器的接口

圖2：TS-960e-5G內(nèi)部結(jié)構(gòu)圖

1) 開(kāi)短路以及DC/AC測(cè)試

基本版的ATE中包含64個(gè)動(dòng)態(tài)數(shù)字I / O信道，64個(gè)靜態(tài)數(shù)字I / O信道，一個(gè)用戶可程序設(shè)計(jì)電源，一個(gè)系統(tǒng)自檢和夾具。動(dòng)態(tài)數(shù)字I/O—GX5296，每引腳PMU功能，可以快速實(shí)現(xiàn)開(kāi)短路以及DC測(cè)試；125MHz的數(shù)據(jù)速率有助于實(shí)現(xiàn)AC測(cè)試，結(jié)合GtDIO6xEasy軟件，可以實(shí)現(xiàn)pattern文件的編寫(xiě)以及導(dǎo)入，用于驗(yàn)證基本的功能性測(cè)試。靜態(tài)數(shù)字I/O——GX5733可以很好的實(shí)現(xiàn)切換功能以及環(huán)境變量控制；

圖3：TS-960e-5G數(shù)字子系統(tǒng)

2) 射頻功能測(cè)試部分

ATE中使用Rohde＆Schwarz的ZNBT40是一款多端口向量網(wǎng)絡(luò)分析儀，工作頻率范圍為9 kHz至40 GHz，最多可提供24個(gè)通道。該儀器可以同時(shí)測(cè)試多個(gè)DUT或測(cè)量一個(gè)DUT，最多24個(gè)通道。即使在具有大量埠的情況下，它也可以在3.5 ms的短測(cè)量時(shí)間完成201點(diǎn)的掃描。

ZNBT40具有高達(dá)135 dB的寬動(dòng)態(tài)范圍，高輸出功率水平和具有高功率處理能力的輸入。該儀器主要用于開(kāi)發(fā)和生產(chǎn)有源和無(wú)源多端口組件，如GPS，WLAN，藍(lán)牙和多頻段移動(dòng)電話的前端模塊，且能夠確定24通道DUT的所有576個(gè)S參數(shù)。

圖4：TS-960e-5G射頻測(cè)試子系統(tǒng)

3) Handler界面
對(duì)于需要與自動(dòng)化處理器集成的生產(chǎn)測(cè)試應(yīng)用，TS-960e-5G配備了一個(gè)inTEST操縱器，可以提供測(cè)試頭的精確定位以及與自動(dòng)探測(cè)器和設(shè)備處理器接口。TS-960e-5G的設(shè)備接口板（DIB）/接收器接口幾乎兼容任何設(shè)備處理器。

圖5：TS-960e-5G界面板

圖6：EPSON NS-8040

2、 軟件部分

ATE中軟件的執(zhí)行環(huán)境為ATEasy，可以輕松完成測(cè)試程序的編寫(xiě)和執(zhí)行管理工作；同時(shí)配有ICEasy半導(dǎo)體測(cè)試軟件包；DIOEasy-Fit：pattern轉(zhuǎn)換和導(dǎo)入工具；GtDio6xEasy：pattern編輯工具；5G VNA，VSA測(cè)試套件：可以進(jìn)行頻譜，時(shí)序顯示及統(tǒng)計(jì)，數(shù)字調(diào)制分析等工作。

圖7：測(cè)試程序集