表面測量儀器用于測量物體表面的形貌、粗糙度、輪廓等參數。以下是常見的表面測量儀器及其簡要介紹：

1、表面粗糙度儀器(Roughness Tester)：

作用：用于測量表面的粗糙度，通常用于表面處理前后的質量比較、工藝控制以及表面質量的檢驗。

原理：通過磨損式、感應式、光學式等原理，測量表面的峰谷起伏情況，輸出Ra、Rz等粗糙度參數。

2、表面形狀測量儀(3D Surface Profiler)：

作用：用于測量表面的三維形貌，能夠很好地呈現表面的高低起伏和整體形態。

原理：通過機械式、光學式、激光干涉式等原理，獲取表面的三維形貌數據，如表面高度、輪廓等。

3、表面輪廓儀(Contour Measuring Instrument)：

作用：主要用于測量物體表面的輪廓、凹凸度等參數，常用于工件外形尺寸的檢測。

原理：多采用機械探針、光學測量等原理，可以在微米級別精確測量物體的輪廓形狀。

4、光學顯微鏡(Optical Microscope)：

作用：通過放大觀察樣品表面的微觀結構，能夠快速直觀地獲取表面形貌信息。

原理：利用光學放大原理，通過目視或照相等方式觀察表面的微觀結構，常用于金相分析等領域。

5、探針式原子力顯微鏡(Atomic Force Microscope, AFM)：

作用：用于在原子尺度下測量物體表面的形貌、力學性質等參數，可提供非常高分辨率的表面形貌信息。

原理：利用微米尺度的探針，通過測量探針與樣品之間的相互作用力以及位移，獲取表面形貌等信息。

這些儀器在工程、材料科學、制造業和科學研究等領域起著關鍵作用，能夠有效評估表面質量，并指導相關工藝和研究。