這些量身定做的改變，搭配上橫河傳統的自由空間光構造設計，在相同設置條件下，掃描速度可是AQ6370D的兩倍不止，能給客戶提升的產能是相當可觀的。

AQ6360激光芯片掃描圖譜

掃描速度

選型時大部分客戶最為關注的就是掃描速度，因為對激光芯片測試的企業來說，需要測試的芯片可能數以百萬為計，所以提升每個芯片的測試效率就非常重要了。

@Sens: MID, x2 mode. Res 0.1 nm, Span 50 nm, 2001 points

波長精度

有些客戶可能會質疑：“AQ6360就是AQ6370D做了減配吧？”

對比AQ6360與AQ6150（波長計）就會發現，AQ6360實際的波長精度到底有多好——

AQ6360波長精度指標是0.02nm（20pm）；

AQ6150波長精度是1pm。

上圖對比可以看出AQ6360實際的精度要好于標稱參數，大概4pm左右，完全能夠跟市場上一些波長計相媲美。它的性能和AQ6370D一樣出色！所以AQ6360可以給客戶帶來前所未有的“快感”，同時又能保證測試的精度。

芯片的供電與測試——SMU

源測量單元（SMU），顧名思義就是可編程電源和測量儀表的結合體，既可電源輸出，又可以進行測量。隨著對源和測量同步性要求的不斷提高，SMU在生物化學、超導材料、光電器件測試、半導體研究等領域起到了越來越大的作用。

GS820工作時序圖

以對半導體激光器芯片進行檢測為例，需要SMU輸出電流驅動激光器，并測量光電傳感器的輸出電壓，同時使用光譜分析儀對激光器的發光波長和光譜特性進行檢測。

由于光電傳感器產生的電壓很小，需要源表具有很高的分解能力和測量精度。為了避免激光器過熱和提高檢測速度，驅動電流需要以窄脈沖掃描的形式進行輸出，這就對SMU的響應和測量速度提出了很高要求。這樣的檢測工作在生產線上可能需要連續24小時進行，SMU的穩定性也至關重要。

SMU 源測量單元的關鍵參數：

精度

精度是根本，高精度SMU的輸出和測量精度可以達到很高，然而這個精度指標通常是有很多限制條件的，比如溫度范圍、保證時限等。保證精度的溫度范圍越寬，保證時限越長，實際測試過程中的精度才越有保障。

橫河GS200系列SMU的最高精度可達讀數的0.001%；在23±5℃的溫度范圍時，一年的保證精度也可以達到讀數的0.016%；23±5℃溫度范圍以外時，溫度系數更可高達±0.0008%/℃。

穩定性

穩定性是指SMU在進行長時間連續測量時，精度的變化情況。影響穩定性的因素有很多，如元器件的質量、零部件的磨損老化、以及使用或貯存不當等。

另外，SMU的實際應用場景通常會連續測量較長時間，會在SMU的機箱內產生并積累熱量，如果散熱處理不當也會對輸出和測量的精度帶來較大的影響。

GS200輸出穩定性與其他公司產品對比

響應速度

當SMU的輸出通過掃描或編程頻繁進行切換時，輸出的響應速度就變得尤為重要。

快速的響應才能保證輸出對時間的準確性，迅速而準確地達到輸出值，而良好的震蕩抑制能夠確保電壓、電流輸出的穩定，避免對被測對象產生不必要的沖擊。

結語